Products
電子材料
素材化学品
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芳香族
セントラル硝子ではトリフルオロメチル基を有する芳香族化合物の取り扱いが多数あり、フッ化水素(HF)を用いたハロゲン交換法等を用い商業生産しております。医農薬中間体として使用される他、洗浄用溶剤・潤滑剤としての用途など幅広い分野で用いられております。
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脂肪族
ヘキサフルオロアセトン(HFA)から誘導するヘキサフルオロイソプロパノール(HFIP)をはじめとする脂肪族化合物は医農薬中間体や電子材料などに使用されており、セントラル硝子ではお客様のご要望に応えられる製造能力を持ち、高品質な製品を安定的に供給できます。
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トリフルオロメタンスルホン酸、誘導体
セントラル硝子グループはトリフルオロメタンスルホン酸を専用の製造設備で量産しています。トリフルオロメタンスルホン酸無水物、トリフルオロメタンスルホン酸リチウムをはじめ、各種誘導体・金属塩のラインアップも充実させています。
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芳香族モノマー
セントラル硝子はゴムの架橋剤や樹脂原料として用いられているBIS-AF[CAS No.1478-61-1]を生産しております。そこから誘導される各種誘導体や類似化合物においても競争力を持っています。同モノマーを用いることで含フッ素化合物特有の耐熱性などの機能を付加することができます。ポリマー原料として各種半導体材料に使用されている実績もあり、高品質な製品管理体制を築いております。
電子材料
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半導体用CVDプロセスガス
メタル配線形成に用いられる六フッ化タングステン(WF₆)、低誘電率層間絶縁膜形成用のトリメチルシラン(3MS)を製品化しています。
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半導体製造装置用クリーニングガス
1988年に高純度フッ化物ガスの多目的プラントを完成させて以来、三フッ化塩素(ClF₃)などの半導体製造装置用クリーニングガスにおいて有力サプライヤーの地位を確立しています。
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次世代半導体エッチングガス
「CEG®」とは、「Central Glassが提案する革新的な半導体用プロセスガス」の総称です。 CEG® Seriesでは、既存ガスと比較して環境負荷が少なく、3Dデバイス及び最先端材料に適した各種プロセスガスを多数製品化しております。
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PK剤(パターン倒壊防止剤)
当社独自の技術により生まれた、高い撥水力のある薬液です。洗浄工程でウェハー表面を撥水化することで、ウエットクリーニング後の乾燥工程で大きな問題となるパターン倒壊を防ぎます。
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フォトレジスト材料
フルオロアルコールモノマー、環状モノマー、強酸性モノマーをメタクリル化、アクリル化、α-(トルフルオロメチル)アクリル化、ノルボルネン化、ビニル化、スチレン化などの重合を施し、ご提供いたします。
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光硬化性樹脂
撥液・低屈折・透明などの特徴を持つ、当社フッ素技術を生かした半導体およびディスプレイ用の光硬化性樹脂をご提供致します。(開発品)
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その他フッ素系製品
当社独自のフッ化黒鉛、フッ素樹脂などを製品化しております。
ガラス繊維
医療化学品
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