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PK剤(パターン倒壊防止剤)

当社独自の技術により生まれた、高い撥水力のある薬液です。洗浄工程でウェハー表面を撥水化することで、ウエットクリーニング後の乾燥工程で大きな問題となるパターン倒壊を防ぎます。

枚葉型

枚葉式洗浄において、短時間での処理で高い撥水性を発現する薬液です。

バッチ型

バッチ式(べーパー式)洗浄において、大型チャンバーでの一括処理で高い均一性を発現する薬液です。

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電子材料営業部
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