電子材料・機能材料

セントラル硝子はフッ素化合物の基本原料から最終製品に至るまで、高品質な製品を安定供給する体制を確立しています。ユニークな物性を示すセントラル硝子のフッ素化合物は、半導体製造工程、光学原料、電池活物質など、幅広い分野で活用されています。

  • 半導体用CVDプロセスガス

    メタル配線形成に用いられる六フッ化タングステン(WF6)を製品化しています。また、微細化・高集積化の進む半導体に対応する低誘電率層間絶縁膜用のシリコン系ガスも製品化しています。

  • 半導体・液晶製造装置用クリーニングガス

    1988年に高純度フッ化物ガスの多目的プラントを完成させて以来、三フッ化窒素(NF3) ・ 三フッ化塩素(ClF3) などの半導体・液晶製造装置用クリーニングガスにおいて有力サプライヤーの地位を確立しています。

  • 半導体装置用エッチングガス

    3Dデバイス及び最先端材料に適した、各種高選択性エッチングガスを製品化しております。

  • フォトレジスト材料

    フルオロアルコールモノマー、環状モノマー、強酸性モノマーをメタクリル化、アクリル化、α-(トルフルオロメチル)アクリル化、ノルボルネン化、ビニル化、スチレン化などの重合を施し、ご提供いたします。

  • フッ化黒鉛

    セフボン®は当社が製造しているフッ化黒鉛の商品名です。平均粒子径の違いによりセフボン®CMA、セフボン®CMCの2グレードに分かれます。

  • 高純度無機塩

    超高純度無機塩、高純度フッ化物があり、光学材料の原料として使用されています。

  • その他フッ素系製品

    エキシマレーザーに用いられる各種フッ素ガスを製品化しております。

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